가람이노션

가스공급시스템사업부

고순도 가스 공급 시스템의 설계, 제조 및 설치에 필요한 “특정설비제조”, “가스시설공사 제1종” 허가 등록증을 보유하여 VMB & Gas Cabinet 들을 제작/공급하며, 더불어 가스/초순수용 고순도배관, 진공라인배관, 배기시스템의 전문적인 유틸리티 설치 서비스도 제공하고 있습니다.

GAS CABINET

GAS CABINET

Gas Cabinet은 반도체 제조 공정에서 사용하는 모든 고순도의 Gas를 원하는 장소까지 오염없이 안전하게 공급 시켜 주기 위한 장비이며, Bottle에 충전된 고압 또는 저압,액화 Gas를 사용자가 설정한 압력으로 일정하게 VMB나 Process 장비로 직접 공급하여 재료(Wafer & LCD등)를 생산 하는데 사용됩니다.

주요 사양

전원: AC 220V 60Hz
SIZE 840 x 550 x 2170
Dual Gas Cylinder Type
자동 공급 전환 장치(Auto Change Type)
가스안전공사(KGS) 검사품
비상 정지 장치(EMO)
조작: Touch Screen
PLC 기반 상위 통신 지원

옵션 사양

GAS Leak Detector
Combined Smoke and Heat Detector
Valve Shutter
UV/IR Type Flame Detector
Heater Line, Heater Jacket
Weight Scale

VMB, VMP

Valve Manifold Box

반도체 제조 공정에서 사용하는 고 순도의 Gas를 Cabinet 으로 부터 공급 받아 자동으로 Cleaning 된 Gas를 System 내부에서 일정 압력 및 일정량으로 분배하여, 다수의 Main 공정 장비로 공급해주는 것을 목적으로 제조된 System 이며, 비상 시 자동차단/ 배기 되도록 구성된 Gas의 안전 분배 공급 장비입니다.

주요 사양